工业硅生产过程中,废气主要来自三个方面:热解炉排放的烟气、磨料厂排放的烟气,以及氧气炉和电炉排放的烟气。其中,热解炉排放的二氧化硫含量最高,约占废气中二氧化硫总量的80%以上。
对于废气中的二氧化硫和氮氧化物的处理,一般采用脱硫脱硝的方法。目前,较为常见的脱硫方法有湿法脱硫、干法脱硫和半干法脱硫三种。
干法脱硝是利用化学吸附或氧化吸附剂吸附氮氧化物,并加热分解,使氮气和二氧化碳的释放,达到净化空气的目的。该方法的优点是操作简便,成本相对较低,但是处理效率较低,需要较高的温度和氧化剂的使用量。
半干法脱硝则是将湿法脱硝和干法脱硝相结合的一种处理方式。这种方法通过干式吸附器捕集废气中的二氧化硫和氮氧化物,随后将含水性化学试剂添加到吸附剂中,达到脱硫脱硝的目的。相对于湿法脱硝和干法脱硝,半干法脱硝的处理效率更高,且成本也相对较低。